導體及防靜電材料體積表面電阻率測試儀
一、概述

導電和防靜電材料體積電阻率測量裝置在測量導電材料電阻率若采用三電極或二電極測量時會因為電極與被測量材料表面電阻而影響測量準確性，本裝置采用四電極(四點探針或四探針)法測量導電和防靜電材料體積電阻率，可以克服表面接觸電阻造成的誤差影響，

一、概述

 導體及防靜電材料體積表面電阻率測試儀測量裝置在測量導電材料電阻率若采用三電極或二電極測量時會因為電極與被測量材料表面電阻而影響測量準確性，本裝置采用四電極(四點探針或四探針)法測量導電和防靜電材料體積電阻率，可以克服表面接觸電阻造成的誤差影響，

本導電和防靜電材料體積電阻率測量裝置*符合并優(yōu)于以下標準：

導體及防靜電材料體積表面電阻率測試儀

二、主要技術指標：

2.1　測量范圍：10-5Ω.m ～1011Ω.m （*另配測試三電極和電源，z高可以測量體積電阻率達1019Ω.m）

2.2　準確度：1%

2.3　靜電計(靜電電壓表)：100mV～±200V，輸入電阻≥1014Ω(100TΩ)，0.5%

2.4　皮安電流表：1×10-15A (飛安fA), 0.5%

2.5  數(shù)字可調電壓源

2.6　測試屏蔽箱（ 內含國家標準四電極）

(注：不同的標準有不同的電極,如果要美國ASTM電極，請訂貨時請說明。

2.7  絕緣板　≥100TΩ.m (1014Ω.m)

三、接線方法

a. 將電源地（黑）與EST122地相接

b.電源正 (紅) 與電流電極相接

c. EST122皮安表的輸入與電流電極的另一端相接

d. EST103靜電計的輸入與電壓電極兩端相接，測試時靠近電流正極性端的電壓電極接靜電計輸入芯線，另一電壓電極接EST103的地線。